光學缺陷檢測設備——WSD系列

WSD系列產品是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發、生產的全自動晶圓外觀缺陷檢測設備。設備的基本檢測原理是利用光學系統成像、通過圖像分析的方式來捕抓并分類各種晶圓表面的缺陷。
該系列產品包括WSD200、WSD300、WSD220、WSD320等多型號產品，適用于集成電路制造、化合物半導體等領域。

主要特點：

l?支持6/8/12吋wafer
l?可定制化兼容Frame產品
l?支持透明/非透明襯底片檢測
l?可檢測缺陷類型:顆粒、污染、圖形缺少、劃傷、圖形黏連、殘留等
l?具備晶圓全表面檢測、自動缺陷檢測分類以及高分辨率的缺陷復查功能